AIN膜を用いた零温度係数をもつ通信用弾性表面波/半導体ハイブリッドICの開発

Author(s)

• 御子柴, 宣夫 ミコシバ, ノブオ

Bibliographic Information

AIN膜を用いた零温度係数をもつ通信用弾性表面波/半導体ハイブリッドICの開発

御子柴宣夫研究代表者

（科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書, 昭和60年度）

[御子柴宣夫], 1986.3

Other Title

昭和60年度科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書

Title Transcription

AIN マク オ モチイタ レイ オンド ケイスウ オ モツ ツウシンヨウ ダンセイ ヒョウメンハ / ハンドウタイ ハイブリッド IC ノ カイハツ

Note

研究課題番号: 58850055

研究分担者:坪内和夫, 益一哉

• NCID: BD02866806
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 76p
• Size: 26cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA31269048