CVD法によるAINエピタキシャル成長膜及びその応用デバイスに関する研究
著者
書誌事項
CVD法によるAINエピタキシャル成長膜及びその応用デバイスに関する研究
（科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書）
[坪内和夫], 1982.3
- タイトル別名
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昭和56年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書 : 課題番号00585097
- タイトル読み
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CVD ホウ ニヨル AIN エピタキシャルセイチョウマク オヨビ ソノ オウヨウ デバイス ニカンスル ケンキュウ
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