先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術

著者

• 技術情報協会 ギジュツ ジョウホウ キョウカイ

書誌事項

先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術

技術情報協会企画編集

技術情報協会, 2023.9

タイトル読み

センタン ハンドウタイ セイゾウ プロセス ノ サイシン ドウコウ ト ビサイカ ギジュツ

注記

執筆: 諏訪部仁ほか

執筆者紹介: 巻頭

文献あり

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BD04094599
• ISBN:
  • 9784861049828
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 630p
• 大きさ: 31cm
• 分類:
  • NDC9 : 549.8
  • NDLC : ND371
  • NDC10 : 549.8
• 件名:
  • NDLSH : 半導体