EUVリソグラフィ技術 Extreme ultraviolet lithography : レジスト材料・光源・露光装置技術・各種構成の変遷と現状 Extreme ultraviolet lithography

Author(s)

• 渡邊, 健夫 ワタナベ, タケオ

Bibliographic Information

EUVリソグラフィ技術 = Extreme ultraviolet lithography : レジスト材料・光源・露光装置技術・各種構成の変遷と現状

渡邊健夫 監修 = Extreme ultraviolet lithography

AndTech, 2023.5

Title Transcription

EUV リソグラフィ ギジュツ = Extreme ultraviolet lithography : レジスト ザイリョウ ・ コウゲン ・ ロコウ ソウチ ギジュツ ・ カクシュ コウセイ ノ ヘンセン ト ゲンジョウ

Note

文献あり

表現種別: テキスト (ncrcontent), 機器種別: 機器不用 (ncrmedia), キャリア種別: 冊子 (ncrcarrier)

Details

• NCID: BD04608131
• ISBN:
  • 9784909118561
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 川崎
• Pages/Volumes: 193 p
• Size: 26 cm
• Classification:
  • NDLC : ND386
  • NDC10 : 549.7
• Subject Headings:
  • NDLSH : リソグラフィー