マイクロマシン/MEMS技術大全

著者

    • 木浦, 成俊 キウラ, ナリトシ

書誌事項

マイクロマシン/MEMS技術大全

木浦成俊編

(Electronic Journal別冊)

電子ジャーナル, 2003.7

  • 2003

タイトル別名

MEMS technology outlook

マイクロマシンMEMS技術大全

タイトル読み

マイクロ マシン MEMS ギジュツ タイゼン

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注記

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BD05025660
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    520p
  • 大きさ
    28cm
  • 親書誌ID
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