マイクロマシン/MEMS技術大全

著者

• 木浦, 成俊 キウラ, ナリトシ

書誌事項

マイクロマシン/MEMS技術大全

木浦成俊編

（Electronic Journal別冊）

電子ジャーナル, 2003.7

• 2003

タイトル別名

MEMS technology outlook

マイクロマシンMEMS技術大全

タイトル読み

マイクロ マシン MEMS ギジュツ タイゼン

注記

著者の読みは推測による

• NII書誌ID(NCID): BD05025660
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 520p
• 大きさ: 28cm
• 親書誌ID:
  • BA55610070