化合物半導体のエピタキシャル成長 : 多様な成長技術とその応用
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化合物半導体のエピタキシャル成長 : 多様な成長技術とその応用
内田老鶴圃, 2023.12
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カゴウブツ ハンドウタイ ノ エピタキシャル セイチョウ : タヨウナ セイチョウ ギジュツ ト ソノ オウヨウ
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参考文献: 各章末
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 第１章 半導体の種類と特徴
- 第２章 化合物半導体エピタキシャル成長の概要
- 第３章 液相エピタキシャル成長法（ＬＰＥ）とその応用
- 第４章 有機金属気相エピタキシャル成長法（ＭＯＶＰＥ）とその応用
- 第５章 分子線エピタキシャル成長法（ＭＢＥ）とその応用
- 第６章 ＭＯＶＰＥにおける流量変調エピタキシー（ＦＭＥ）
- 第７章 ＭＢＥにおけるマイグレーション・エンハンスト・エピタキシー（ＭＥＥ）
- 第８章 選択エピタキシャル成長法（ＳＡＥ）
- 第９章 エピタキシャル成長結晶の半導体レーザ（ＬＤ）への応用
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