化合物半導体のエピタキシャル成長 : 多様な成長技術とその応用
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化合物半導体のエピタキシャル成長 : 多様な成長技術とその応用
内田老鶴圃, 2023.12
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カゴウブツ ハンドウタイ ノ エピタキシャル セイチョウ : タヨウナ セイチョウ ギジュツ ト ソノ オウヨウ
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参考文献: 各章末
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 第1章 半導体の種類と特徴
- 第2章 化合物半導体エピタキシャル成長の概要
- 第3章 液相エピタキシャル成長法(LPE)とその応用
- 第4章 有機金属気相エピタキシャル成長法(MOVPE)とその応用
- 第5章 分子線エピタキシャル成長法(MBE)とその応用
- 第6章 MOVPEにおける流量変調エピタキシー(FME)
- 第7章 MBEにおけるマイグレーション・エンハンスト・エピタキシー(MEE)
- 第8章 選択エピタキシャル成長法(SAE)
- 第9章 エピタキシャル成長結晶の半導体レーザ(LD)への応用
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