EUV lithography

著者

• Bakshi, Vivek

書誌事項

EUV lithography

Vivek Bakshi, Editor

SPIE Press, c2018

2nd ed

注記

Includes bibliographical references and index

• NII書誌ID(NCID): BD05689332
• ISBN:
  • 9781510616783
• LCCN: 2017051759
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Bellingham, Washington
• ページ数/冊数: xxxii, 726 p.
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • LCC : QC459
  • DC : 621.3815
• 件名:
  • LCSH : Ultraviolet radiation -- Industrial applications
  • LCSH : Photolithography
  • LCSH : Optical coatings