真空ハンドブック
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真空ハンドブック
オーム社, 2024.3
3訂版
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Handbook of vacuum technology
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シンクウ ハンドブック
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Description and Table of Contents
Table of Contents
- 第1章 真空の基礎
- 第2章 真空用部品
- 第3章 真空用構成材料
- 第4章 熱
- 第5章 低温
- 第6章 プラズマ・イオンビーム
- 第7章 表面分析
- 第8章 薄膜・表面加工
- 第9章 応用
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