真空ハンドブック

Author(s)

• アルバック アルバック

Bibliographic Information

真空ハンドブック

アルバック編

オーム社, 2024.3

3訂版

Other Title

Handbook of vacuum technology

Title Transcription

シンクウ ハンドブック

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 第１章　真空の基礎
• 第２章　真空用部品
• 第３章　真空用構成材料
• 第４章　熱
• 第５章　低温
• 第６章　プラズマ・イオンビーム
• 第７章　表面分析
• 第８章　薄膜・表面加工
• 第９章　応用

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Details

• NCID: BD06139621
• ISBN:
  • 9784274231773
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: xxv, 348p
• Size: 27cm
• Classification:
  • NDC8 : 534.93
  • NDC9 : 534.93
  • NDC10 : 534.93
  • NDLC : NB126
• Subject Headings:
  • BSH : 真空技術 -- 便覧
  • BSH : 真空技術 -- 便覧
  • NDLSH : 真空
  • NDLSH : 真空工学