フォトレジストの最先端技術 Leading edge technologies of photoresist

著者

• 遠藤, 政孝 エンドウ, マサユキ

書誌事項

フォトレジストの最先端技術 = Leading edge technologies of photoresist

（エレクトロニクスシリーズ）

シーエムシー出版, 2022.9

タイトル別名

Leading edge technologies of photoresist

High technology information

タイトル読み

フォトレジスト ノ サイセンタン ギジュツ

注記

監修: 遠藤政孝

背・奥付・裏表紙に「T1218」とあり

各章末に文献あり

• NII書誌ID(NCID): BD06363658
• ISBN:
  • 9784781316796
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 345p
• 大きさ: 26cm
• 分類:
  • NDLC : PA441
  • NDC10 : 578.4
• 件名:
  • NDLSH : 感光性樹脂
  • NDLSH : リソグラフィー
• 親書誌ID:
  • BB09843575