シリコンに導入されたドーパントの物理

Author(s)

    • 応用物理学会半導体分野将来基金委員会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ハンドウタイ ブンヤ ショウライ キキン イインカイ

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シリコンに導入されたドーパントの物理

応用物理学会半導体分野将来基金委員会編

近代科学社Digital, 2025.2 , 近代科学社(発売)

Other Title

New paradigm! on-demand publishing

Title Transcription

シリコン ニ ドウニュウ サレタ ドーパント ノ ブツリ

Access to Electronic Resource 1 items

Available at  / 37 libraries

Note

表現種別: テキスト (ncrcontent), 機器種別: 機器不用 (ncrmedia), キャリア種別: 冊子 (ncrcarrier)

奥付に「2025年2月28日 初版発行Ver.1.0」とあり

参考文献: 各章末

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • 第1部 ドーピングの基礎
  • 第2部 ナノシリコンデバイス
  • 第3部 パワー半導体

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