ナノインプリント・リソグラフィの社会実装と将来展望 : EUVLに対抗する注目の次世代半導体微細加工技術および離型性課題克服に向けた取り組み

書誌事項

ナノインプリント・リソグラフィの社会実装と将来展望 : EUVLに対抗する注目の次世代半導体微細加工技術および離型性課題克服に向けた取り組み

平井義彦監修

AndTech, 2025.3

タイトル別名

ナノインプリントリソグラフィの社会実装と将来展望 : EUVLに対抗する注目の次世代半導体微細加工技術および離型性課題克服に向けた取り組み

タイトル読み

ナノインプリント・リソグラフィ ノ シャカイ ジッソウ ト ショウライ テンボウ : EUVL ニ タイコウ スル チュウモク ノ ジセダイ ハンドウタイ ビサイ カコウ ギジュツ オヨビ リケイセイ カダイ コクフク ニ ムケタ トリクミ

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注記

表現種別: テキスト (ncrcontent), 機器種別: 機器不用 (ncrmedia), キャリア種別: 冊子 (ncrcarrier)

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BD11463505
  • ISBN
    • 9784909118790
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    川崎
  • ページ数/冊数
    135p
  • 大きさ
    26cm
  • 分類
  • 件名
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