半導体製造における洗浄技術 Semiconductor cleaning technology

Author(s)

• 羽深, 等 ハブカ, ヒトシ

Bibliographic Information

半導体製造における洗浄技術 = Semiconductor cleaning technology

羽深等監修

（エレクトロニクスシリーズ, . High technology information）

シーエムシー出版, 2024.12

Title Transcription

ハンドウタイ セイゾウ ニ オケル センジョウ ギジュツ = Semiconductor cleaning technology

Note

表現種別: テキスト (ncrcontent), 機器種別: 機器不用 (ncrmedia), キャリア種別: 冊子 (ncrcarrier)

文献あり

奥付・背に「T1278」とあり

Details

• NCID: BD13927833
• ISBN:
  • 9784781318561
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: v, 232p
• Size: 26cm
• Classification:
  • NDLC : ND371
  • NDC10 : 549.8
• Subject Headings:
  • NDLSH : 半導体
  • NDLSH : 洗浄
• Parent Bibliography ID:
  • BB09843575