ナノ加工技術ハンドブック Handbook of nanofabrication
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ナノ加工技術ハンドブック = Handbook of nanofabrication
大阪公立大学出版会, 2025.11
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ナノ カコウ ギジュツ ハンドブック
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注記
表現種別: テキスト (ncrcontent), 機器種別: 機器不用 (ncrmedia), キャリア種別: 冊子 (ncrcarrier)
参考文献あり
内容説明・目次
目次
- １章 微細加工技術（半導体リソグラフィ；原子層無損傷プラズマエッチング技術；レーザ加工；レジスト材料と感光機構）
- ２章 ナノ加工の基礎（プロセス科学と装置）（電子・イオンビームと固体との相互作用；電子ビーム照射のチャージアップ現象；ビーム励起表面反応；電子ビーム描画装置；集束イオンビーム装置）
- ３章 ナノ構造形成技術（電子ビーム描画技術；集束イオンビーム技術；ナノインプリント技術；走査プローブ顕微鏡によるナノ加工；自己組織化；ガスクラスターイオンビーム（ＧＣＩＢ）技術；近接場リソグラフィ）
- ４章 ナノ構造評価・計測（走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）；透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）；測長ＳＥＭ（ＣＤ−ＳＥＭ）；ヘリウムイオン顕微鏡；走査プローブ顕微鏡（ＳＰＭ））
- ５章 ナノ加工のデバイス応用（単電子トランジスタ；グラフェンデバイス；フォトニック結晶デバイス；プラズモニックスデバイス；ナノメカニカルデバイス；バイオナノデバイス；バイオミメティクスデバイス）
「BOOKデータベース」 より
