ナノ加工技術ハンドブック Handbook of nanofabrication

著者

• ナノ加工技術ハンドブック編集委員会 ナノ カコウ ギジュツ ハンドブック ヘンシュウ イインカイ

書誌事項

ナノ加工技術ハンドブック = Handbook of nanofabrication

ナノ加工技術ハンドブック編集委員会編

大阪公立大学出版会, 2025.11

タイトル読み

ナノ カコウ ギジュツ ハンドブック

注記

表現種別: テキスト (ncrcontent), 機器種別: 機器不用 (ncrmedia), キャリア種別: 冊子 (ncrcarrier)

参考文献あり

内容説明・目次

目次

• １章　微細加工技術（半導体リソグラフィ；原子層無損傷プラズマエッチング技術；レーザ加工；レジスト材料と感光機構）
• ２章　ナノ加工の基礎（プロセス科学と装置）（電子・イオンビームと固体との相互作用；電子ビーム照射のチャージアップ現象；ビーム励起表面反応；電子ビーム描画装置；集束イオンビーム装置）
• ３章　ナノ構造形成技術（電子ビーム描画技術；集束イオンビーム技術；ナノインプリント技術；走査プローブ顕微鏡によるナノ加工；自己組織化；ガスクラスターイオンビーム（ＧＣＩＢ）技術；近接場リソグラフィ）
• ４章　ナノ構造評価・計測（走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）；透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）；測長ＳＥＭ（ＣＤ−ＳＥＭ）；ヘリウムイオン顕微鏡；走査プローブ顕微鏡（ＳＰＭ））
• ５章　ナノ加工のデバイス応用（単電子トランジスタ；グラフェンデバイス；フォトニック結晶デバイス；プラズモニックスデバイス；ナノメカニカルデバイス；バイオナノデバイス；バイオミメティクスデバイス）

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BD14097607
• ISBN:
  • 9784909933973
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 堺
• ページ数/冊数: ix, 457p
• 大きさ: 26cm
• 分類:
  • NDC9 : 549
  • NDC10 : 549
  • NDLC : M21
  • NDC10 : 500
• 件名:
  • BSH : 電子工学
  • BSH : ナノテクノロジー
  • NDLSH : ナノテクノロジー