半導体の酸化機構と酸化膜

著者

• 応用物理学会半導体分野将来基金委員会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ハンドウタイ ブンヤ ショウライ キキン イインカイ
• 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ

書誌事項

半導体の酸化機構と酸化膜

応用物理学会半導体分野将来基金委員会編

近代科学社Digital, 2026.2 , 近代科学社(発売)

タイトル別名

New paradigm! on-demand publishing

タイトル読み

ハンドウタイ ノ サンカ キコウ ト サンカマク

注記

表現種別: テキスト (ncrcontent), 機器種別: 機器不用 (ncrmedia), キャリア種別: 冊子 (ncrcarrier)

奥付に「2026年2月27日 初版発行Ver.1.0」とあり

文献: 章末

• NII書誌ID(NCID): BD18053523
• ISBN:
  • 9784764907799
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京],東京
• ページ数/冊数: 402p
• 大きさ: 26cm
• 分類:
  • NDC9 : 549.8
  • NDC10 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • BSH : 半導体
  • BSH : 酸化・還元
  • NDLSH : 半導体
  • NDLSH : 酸化