EUV時代の半導体リソグラフィ技術

Author(s)

• 岡崎, 信次 オカザキ, シンジ
• 鈴木, 章義 スズキ, アキヨシ
• 上野, 巧 ウエノ, タクミ

Bibliographic Information

EUV時代の半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著

（現場の即戦力）

技術評論社, 2026.5

Title Transcription

EUV ジダイ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ

Note

表現種別: テキスト (ncrcontent), 機器種別: 機器不用 (ncrmedia), キャリア種別: 冊子 (ncrcarrier)

参考文献: 章末

Details

• NCID: BD18990553
• ISBN:
  • 9784297154622
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 351p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC9 : 549.7
  • NDC10 : 549.7
  • NDLC : ND386
• Subject Headings:
  • BSH : リソグラフィー
  • BSH : 半導体
  • NDLSH : リソグラフィー
• Parent Bibliography ID:
  • BA89795385