EUV時代の半導体リソグラフィ技術

著者

• 岡崎, 信次 オカザキ, シンジ
• 鈴木, 章義 スズキ, アキヨシ
• 上野, 巧 ウエノ, タクミ

書誌事項

EUV時代の半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著

（現場の即戦力）

技術評論社, 2026.5

タイトル読み

EUV ジダイ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ

注記

表現種別: テキスト (ncrcontent), 機器種別: 機器不用 (ncrmedia), キャリア種別: 冊子 (ncrcarrier)

参考文献: 章末

• NII書誌ID(NCID): BD18990553
• ISBN:
  • 9784297154622
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 351p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC9 : 549.7
  • NDC10 : 549.7
• 件名:
  • BSH : リソグラフィー
  • BSH : 半導体
• 親書誌ID:
  • BA89795385