入門真空・薄膜・スパッタリング
著者
書誌事項
入門真空・薄膜・スパッタリング
技報堂出版, 1985.10
- タイトル別名
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Vacuum technology, thin films, and sputtering
真空・薄幕・スパッタリング : 入門
- タイトル読み
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ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング
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入門真空・薄膜・スパッタリング
1985
限定公開 -
入門真空・薄膜・スパッタリング
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