光・プラズマプロセシング

著者

• 明石, 和夫 アカシ, カズオ
• 服部, 秀三 ハットリ, シュウゾウ
• 松本, 修 マツモト, オサム

書誌事項

光・プラズマプロセシング

明石和夫, 服部秀三, 松本修編

日刊工業新聞社, 1986.9

タイトル別名

光プラズマプロセシング

タイトル読み

ヒカリ プラズマ プロセシング

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• 光・プラズマプロセシング

  1986

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

文献: 章末

内容説明・目次

目次

• １　非平衡プラズマの基礎
• ２　プラズマ診断
• ３　光によるイオン化・励起と反応
• ４　熱プラズマの基礎と診断
• ５　プラズマＣＶＤの基礎
• ６　プラズマＣＶＤプロセス
• ７　光ＣＶＤ
• ８　プラズマ重合
• ９　有機材料のプラズマ表面処理
• １０　プラズマエッチングの基礎
• １１　プラズマエッチングプロセス
• １２　光エッチング
• １３　プラズマ表面反応
• １４　気相熱プラズマプロセス
• １５　プラズマ製錬・プラズマ溶解
• １６　プラズマ表面処理プロセス

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BN00432780
• ISBN:
  • 4526020788
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xii, 370, viip
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 427.6
  • NDC8 : 431.71
  • NDLC : MC241
• 件名:
  • BSH : プラズマ
  • NDLSH : 工業材料
  • NDLSH : 膜(工学)