クリーンルーム : スーパークリーンルームの理論と実際

著者

• 早川, 一也 ハヤカワ, イチヤ

書誌事項

クリーンルーム : スーパークリーンルームの理論と実際

早川一也編著

井上書院, 1985.4

タイトル読み

クリーン ルーム : スーパー クリーン ルーム ノ リロン ト ジッサイ

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• クリーンルーム : スーパークリーンルームの理論と実際

  1985

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

各章末:参考文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN00899917
• ISBN:
  • 4753048519
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 390p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 528.2
  • NDLC : NA266
• 件名:
  • NDLSH : 空気 -- 浄化
  • NDLSH : バイオ・クリーン・システム