超高純度ガス供給システム

著者

• 半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ

書誌事項

超高純度ガス供給システム

半導体基盤技術研究会編

リアライズ社, 1986.9

タイトル読み

チョウ コウジュンド ガス キョウキュウ システム

注記

監修:大見忠弘,新田雄久

各章末:参考文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN01277752
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 463p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 534.6
  • NDLC : NB113
• 件名:
  • NDLSH : ガス管
  • NDLSH : ガス器具
  • NDLSH : 半導体