磁性流体を用いた磁気浮揚研磨法による高能率研磨装置の試作研究

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磁性流体を用いた磁気浮揚研磨法による高能率研磨装置の試作研究

研究代表者 谷泰弘

〔東京大学〕, 1987

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ジセイ リュウタイ オ モチイタ ジキ フヨウ ケンマホウ ニヨル コウノウリツ ケンマ ソウチ ノ シサク ケンキュウ

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昭和61年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書(課題番号60850022)

Details

  • NCID
    BN01290670
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    〔東京〕
  • Pages/Volumes
    39p
  • Size
    27cm
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