集束イオンビームを用いた超微細ドーピングの研究

著者

• 生駒, 俊明 イコマ, トシアキ

書誌事項

集束イオンビームを用いた超微細ドーピングの研究

研究代表者 生駒俊明

〔東京大学〕, 1987

タイトル読み

シュウソク イオン ビーム オ モチイタ チョウビサイ ドーピング ノ ケンキュウ

注記

昭和61年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書(課題番号60850058)

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN01292257
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: 〔東京〕
• ページ数/冊数: 38p
• 大きさ: 27cm