集束イオンビームを用いた超微細ドーピングの研究
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集束イオンビームを用いた超微細ドーピングの研究
〔東京大学〕, 1987
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シュウソク イオン ビーム オ モチイタ チョウビサイ ドーピング ノ ケンキュウ
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Institute of Industrial Science Library, the University of Tokyo図書
X-08.IIS:科研1986:20-1626711258456
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昭和61年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書(課題番号60850058)