超音波顕微鏡による加工変質層の定量的評価に関する研究
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超音波顕微鏡による加工変質層の定量的評価に関する研究
〔東京大学〕, 1987
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チョウオンパ ケンビキョウ ニヨル カコウ ヘンシツソウ ノ テイリョウテキ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
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Institute of Industrial Science Library, the University of Tokyo図書
X-08.IIS:科研1986:04-1466711258290
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昭和61年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書(課題番号60460088)