循環流動層を用いたモノシランガスからの多結晶シリコン製造に関する基礎的研究

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循環流動層を用いたモノシランガスからの多結晶シリコン製造に関する基礎的研究

研究代表者 古澤健彦

〔東京大学〕, 1987

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ジュンカン リュウドウソウ オ モチイタ モノシランガス カラノ タケッショウ シリコン セイゾウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ

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Note

昭和60年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書(課題番号60550659)

Details

  • NCID
    BN01308539
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    〔東京〕
  • Pages/Volumes
    58p
  • Size
    27cm
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