循環流動層を用いたモノシランガスからの多結晶シリコン製造に関する基礎的研究

著者

• 古澤, 健彦 フルサワ, タケヒコ

書誌事項

循環流動層を用いたモノシランガスからの多結晶シリコン製造に関する基礎的研究

研究代表者 古澤健彦

〔東京大学〕, 1987

タイトル読み

ジュンカン リュウドウソウ オ モチイタ モノシランガス カラノ タケッショウ シリコン セイゾウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ

注記

昭和60年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書(課題番号60550659)

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN01308539
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: 〔東京〕
• ページ数/冊数: 58p
• 大きさ: 27cm