実践LSI工場清浄化技術

著者

• 鈴木, 道夫 スズキ, ミチオ

書誌事項

実践LSI工場清浄化技術

鈴木道夫〔ほか〕編

サイエンスフォーラム, 1985.11

タイトル読み

ジッセン LSI コウジョウ セイジョウカ ギジュツ

注記

限定版

各章末:参考文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN01404496
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 462p
• 大きさ: 31cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • NDLSH : 集積回路
  • NDLSH : 工程管理