半導体製造装置用語辞典

著者

• 日本半導体製造装置協会 ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ

書誌事項

半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編

日刊工業新聞社, 1987.11

タイトル読み

ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン

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• 半導体製造装置用語辞典

  1987

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

内容説明・目次

目次

• 第１章　半導体製造装置用語の構成
• 第２章　設計工程用語
• 第３章　マスク作成工程用語
• 第４章　ウェーハ製造工程用語
• 第５章　ウェーハ処理工程用語
• 第６章　組立工程用語
• 第７章　検査工程用語
• 第８章　設備・環境工程用語

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BN01615028
• ISBN:
  • 4526022756
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 440p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND2
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • BSH : 半導体-用語