LSI設計製作技術
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LSI設計製作技術
電気書院, 1987.9
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LSI セッケイ セイサク ギジュツ
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LSI設計製作技術
1987
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LSI設計製作技術
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監修:森末道忠 編集:谷川紘,雨宮好仁 執筆:谷川紘ほか
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 第1編 ICの基礎(MOSFETの原理;回路設計;パターン設計;マスク製作;MOSLSIの製造プロセス;回路試験;組立工程)
- 第2編 実用技術と装置(設計;マスク製作;ウェーハプロセス;回路試験;組立とパッケージング;信頼性)
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