真空技術による高機能コーティング

著者

• 田畑, 三郎 タバタ, サブロウ
• 黄, 燕清 コウ, エンセイ

書誌事項

真空技術による高機能コーティング

田畑三郎, 黄燕清編著

日刊工業新聞社, 1987.12

タイトル別名

高機能コーティング : 真空技術による

タイトル読み

シンクウ ギジュツ ニヨル コウキノウ コーティング

注記

参考文献: 各章末

内容説明・目次

目次

• １編　真空技術と高機能化表面処理装置（真空技術の基礎—薄膜作成のよりどころ；表面処理装置）
• ２編　高機能性膜の製作技術と物性およびその応用（光学的機能膜；薄膜の光学的性質の評価；イオンプレーティングによるセラミックコーティング；ダイヤモンドおよび立方晶ボロンナイトライドの薄膜）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN0197673X
• ISBN:
  • 4526022780
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: x, 278, vp
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 576.89
  • NDC8 : 566.7
• 件名:
  • BSH : コーティング
  • BSH : 真空技術