プラズマCVDによるカーボンコーティング法の開発

著者

• 菅井, 秀郎 スガイ, ヒデオ

書誌事項

プラズマCVDによるカーボンコーティング法の開発

菅井秀郎[ほか著]

[ ], 1987

タイトル読み

プラズマ CVD ニヨル カーボンコーティングホウ ノ カイハツ

注記

昭和61年度科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書(研究課題番号60880001) 研究代表者:菅井秀郎(名古屋大学工学部)

• NII書誌ID(NCID): BN02036660
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [名古屋]
• ページ数/冊数: 52p
• 大きさ: 26cm