プラズマCVDによるカーボンコーティング法の開発

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プラズマCVDによるカーボンコーティング法の開発

菅井秀郎[ほか著]

[ ], 1987

Title Transcription

プラズマ CVD ニヨル カーボンコーティングホウ ノ カイハツ

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Note

昭和61年度科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書(研究課題番号60880001) 研究代表者:菅井秀郎(名古屋大学工学部)

Details

  • NCID
    BN02036660
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [名古屋]
  • Pages/Volumes
    52p
  • Size
    26cm
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