回転対陰極用複合ターゲットの開発

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回転対陰極用複合ターゲットの開発

坂田誠[ほか著]

[ ], 1987

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カイテン タイインキョクヨウ フクゴウ ターゲット ノ カイハツ

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Note

昭和61年度科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書(研究課題番号60880014) 研究代表者:坂田誠(名古屋大学工学部)

Details

  • NCID
    BN02037131
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [名古屋]
  • Pages/Volumes
    41p
  • Size
    26cm
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