回転対陰極用複合ターゲットの開発

著者

• 坂田, 誠 サカタ, マコト

書誌事項

回転対陰極用複合ターゲットの開発

坂田誠[ほか著]

[ ], 1987

タイトル読み

カイテン タイインキョクヨウ フクゴウ ターゲット ノ カイハツ

注記

昭和61年度科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書(研究課題番号60880014) 研究代表者:坂田誠(名古屋大学工学部)

• NII書誌ID(NCID): BN02037131
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [名古屋]
• ページ数/冊数: 41p
• 大きさ: 26cm