サブミクロン・リソグラフィ総合技術資料集

Author(s)

• 北山, 豊樹 キタヤマ, トヨキ

Bibliographic Information

サブミクロン・リソグラフィ総合技術資料集

北山豊樹[ほか]編

サイエンスフォーラム, 1985.3

Title Transcription

サブミクロン・リソグラフィ ソウゴウ ギジュツ シリョウシュウ

Note

監修:難波進

限定版

各章末:参考文献

Details

• NCID: BN02123266
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 540p
• Size: 31cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• Subject Headings:
  • NDLSH : リソグラフィー