サブミクロン・リソグラフィ総合技術資料集

著者

• 北山, 豊樹 キタヤマ, トヨキ

書誌事項

サブミクロン・リソグラフィ総合技術資料集

北山豊樹[ほか]編

サイエンスフォーラム, 1985.3

タイトル読み

サブミクロン・リソグラフィ ソウゴウ ギジュツ シリョウシュウ

注記

監修:難波進

限定版

各章末:参考文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN02123266
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 540p
• 大きさ: 31cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • NDLSH : リソグラフィー