VLSI技術
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VLSI技術
(VLSI工学シリーズ, 第5巻)
昭晃堂, 1988.6
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VLSI ギジュツ
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Description and Table of Contents
Table of Contents
- 1 基本素子
- 2 集積化プロセス
- 3 単位プロセス技術
- 4 プロセス設計
- 5 プロセス評価
- 6 界面現象と信頼性
- 7 格子欠陥と不純物制御
- 8 超微細リソグラフィ技術
- 9 超高集積化技術
- 10 クリーンルーム
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