VLSI技術

Author(s)

• 外山, 正春 トヤマ, マサハル

Bibliographic Information

VLSI技術

外山正春編著

（VLSI工学シリーズ, 第5巻）

昭晃堂, 1988.6

Title Transcription

VLSI ギジュツ

Description and Table of Contents

Table of Contents

• １　基本素子
• ２　集積化プロセス
• ３　単位プロセス技術
• ４　プロセス設計
• ５　プロセス評価
• ６　界面現象と信頼性
• ７　格子欠陥と不純物制御
• ８　超微細リソグラフィ技術
• ９　超高集積化技術
• １０　クリーンルーム

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Details

• NCID: BN02517829
• ISBN:
  • 4785620358
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 2, ii, 3, 235p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC7 : 549.8
• Subject Headings:
  • BSH : 集積回路
  • NDLSH : 集積回路
• Parent Bibliography ID:
  • BN02517782