VLSI技術

著者

• 外山, 正春 トヤマ, マサハル

書誌事項

VLSI技術

外山正春編著

（VLSI工学シリーズ, 第5巻）

昭晃堂, 1988.6

タイトル読み

VLSI ギジュツ

内容説明・目次

目次

• １　基本素子
• ２　集積化プロセス
• ３　単位プロセス技術
• ４　プロセス設計
• ５　プロセス評価
• ６　界面現象と信頼性
• ７　格子欠陥と不純物制御
• ８　超微細リソグラフィ技術
• ９　超高集積化技術
• １０　クリーンルーム

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN02517829
• ISBN:
  • 4785620358
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 2, ii, 3, 235p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC7 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 集積回路
  • NDLSH : 集積回路
• 親書誌ID:
  • BN02517782