ウルトラ・クリーン化技術 : 三菱電機/東北大学の挑戦

著者

• 赤堀, 正幸 アカホリ, マサユキ

書誌事項

ウルトラ・クリーン化技術 : 三菱電機/東北大学の挑戦

赤堀正幸著

ダイヤモンド社, 1988.4

タイトル読み

ウルトラ クリーンカ ギジュツ : ミツビシ デンキ トウホク ダイガク ノ チョウセン

内容説明・目次

内容説明

半導体戦争の勝利は、クリーン化技術の克服によってなしとげられた。本書は半導体づくりに最も嫌われるゴミに挑戦して、画期的勝利を収めた三菱電機と東北大学の開発事例をドキュメント風にえがき、クリーン化技術をベースとした新しい産業分野を紹介する異色の書。

目次

• １章　新しい産業マップとクリーン化技術
• ２章　半導体産業とクリーン化技術
• ３章　三菱電機のクリーン化技術戦略（三菱半導体クリーン化軍団；臨海半導体工場建設；史上最大の作戦；クリーン度維持管理専門集団；パッションとパースピレーション）
• ４章　クリーン化技術新時代—東北大学のウルトラ・スーパークリーンルーム

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN02559589
• ISBN:
  • 4478240434
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vi, 230p
• 大きさ: 19cm
• 分類:
  • NDC8 : 528.2
  • NDLC : NA266
• 件名:
  • NDLSH : 空気 -- 浄化
  • NDLSH : 半導体