クリーンルームハンドブック
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クリーンルームハンドブック
オーム社, 1989.1
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クリーン ルーム ハンドブック
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文献: 章末
内容説明・目次
内容説明
クリーンルームに関する基礎知識から、計画・設計・施工ならびに保守管理に役立つ全知識を、最新の資料を中心に集大成。クリーンルームのユーザ・メーカ・メンテナンス関連技術者ならびにクリーンルームの設計者・設備技術者等の座右の書。
目次
- １ 基礎編（建築工学上の諸問題；浮遊微粒子の除去；室内浮遊微粒子濃度と評価；バイオロジカルクリーンルーム；バイオハザード対策）
- ２ 工業用クリーンルームの計画編（半導体工場；磁気ヘッド製造工場；液晶工場；写真フィルム・印画紙工場；プリント配線板のクリーンルーム；軟包装材料製造工程のクリーンルーム；塗装工場）
- ３ 生物用クリーンルームの計画編（病院手術室；バイオクリーン病室；実験動物飼育施設；医薬品工場；食品工事の空気清浄；バイオハザード制御施設）
- ４ 設備編（建築内装・仕上げ；空気調和設備；電気設備；ユティリティ設備；防災設備；クリーンルームの構成機器；廃棄物処理設備；作業依・無菌衣）
- ５ 保守管理編（クリーンルームの維持・管理；測定方法；ＨＥＰＡフィルタの性能試験；性能検査と保守・管理；クリーンルームの運転管理；クリーンルームの安全対策；バイオロジカルクリーンルームの保守・管理）
「BOOKデータベース」 より
