イオン注入と蒸着による表面改質と新機能薄膜形成技術の開発

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イオン注入と蒸着による表面改質と新機能薄膜形成技術の開発

研究代表者 藤本文範

藤本文範, 1987.3

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イオン チュウニュウ ト ジョウチャク ニヨル ヒョウメン カイシツ ト シンキノウ ハクマク ケイセイ ギジュツ ノ カイハツ

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昭和59-61年度文部省科学研究費補助金試験研究(1)研究成果報告書,研究課題番号(598500

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  • NCID
    BN0314963X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    22p
  • Size
    27cm
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