イオン注入と蒸着による表面改質と新機能薄膜形成技術の開発

著者

• 藤本, 文範 フジモト, フミノリ

書誌事項

イオン注入と蒸着による表面改質と新機能薄膜形成技術の開発

研究代表者 藤本文範

藤本文範, 1987.3

タイトル読み

イオン チュウニュウ ト ジョウチャク ニヨル ヒョウメン カイシツ ト シンキノウ ハクマク ケイセイ ギジュツ ノ カイハツ

注記

昭和59-61年度文部省科学研究費補助金試験研究(1)研究成果報告書,研究課題番号(598500

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN0314963X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 22p
• 大きさ: 27cm