走査電子顕微鏡による表面形状の測定機能向上に関する研究

Bibliographic Information

走査電子顕微鏡による表面形状の測定機能向上に関する研究

研究代表者 佐藤寿芳

佐藤壽芳, 1988

Title Transcription

ソウサ デンシ ケンビキョウ ニヨル ヒョウメン ケイジョウ ノ ソクテイ キノウ コウジョウ ニカンスル ケンキュウ

Available at  / 2 libraries

Search this Book/Journal

Note

昭和62年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書,研究課題番号(61850023)

Details

  • NCID
    BN03152441
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    43p
  • Size
    26cm
Page Top