走査電子顕微鏡による表面形状の測定機能向上に関する研究

著者

• 佐藤, 寿芳 サトウ, ヒサヨシ

書誌事項

走査電子顕微鏡による表面形状の測定機能向上に関する研究

研究代表者 佐藤寿芳

佐藤壽芳, 1988

タイトル読み

ソウサ デンシ ケンビキョウ ニヨル ヒョウメン ケイジョウ ノ ソクテイ キノウ コウジョウ ニカンスル ケンキュウ

注記

昭和62年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書,研究課題番号(61850023)

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN03152441
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 43p
• 大きさ: 26cm