低温プラズマ応用技術

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Bibliographic Information

低温プラズマ応用技術

（R&Dレポート, no.41）

シーエムシー, 1983.2

Title Transcription

テイオン プラズマ オウヨウ ギジュツ

Note

発売:ジスク

執筆者:村上洋一ほか

• NCID: BN03178627
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 224p
• Size: 26cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• Subject Headings:
  • NDLSH : 薄膜
  • NDLSH : プラズマ
• Parent Bibliography ID:
  • BN00154291