球面収差補正用薄膜レンズを用いた走査透過電子顕微鏡の高分解能化に関する研究
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球面収差補正用薄膜レンズを用いた走査透過電子顕微鏡の高分解能化に関する研究
[出版者不明], 1988.3
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キュウメン シュウサ ホセイヨウ ハクマク レンズ オ モチイタ ソウサ トウカ デンシ ケンビキョウ ノ コウブンカイノウカ ニ カンスル ケンキュウ
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注記
昭和62年度科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書(研究課題番号61850069) 研究代表者:日比野倫夫(名古屋大学工学部)
