全ドライプロセスX線・電子線リソグラフィ用レジストの研究

著者

• 服部, 秀三 ハットリ, シュウゾウ

書誌事項

全ドライプロセスX線・電子線リソグラフィ用レジストの研究

服部秀三[ほか著]

[出版者不明], 1987.11

タイトル読み

ゼンドライ プロセス Xセン・デンシセン リソグラフィヨウ レジスト ノ ケンキュウ

注記

昭和61年度科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書(研究課題番号59420030) 研究代表者:服部秀三(名古屋大学工学部)

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN03368021
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [名古屋]
• ページ数/冊数: 294p
• 大きさ: 26cm