全ドライプロセスX線・電子線リソグラフィ用レジストの研究

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全ドライプロセスX線・電子線リソグラフィ用レジストの研究

服部秀三[ほか著]

[出版者不明], 1987.11

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ゼンドライ プロセス Xセン・デンシセン リソグラフィヨウ レジスト ノ ケンキュウ

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昭和61年度科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書(研究課題番号59420030) 研究代表者:服部秀三(名古屋大学工学部)

Details

  • NCID
    BN03368021
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [名古屋]
  • Pages/Volumes
    294p
  • Size
    26cm
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