化学技術者のための超LSI技術入門

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化学技術者のための超LSI技術入門

化学工学協会編

培風館, 1989.4

Other Title

超LSI技術入門 : 化学技術者のための

Title Transcription

カガク ギジュツシャ ノ タメノ チョウ LSI ギジュツ ニュウモン

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Note

編者変更:化学工学協会→化学工学会

執筆者:仲勇治ほか

章末:引用文献

Description and Table of Contents

Description

本書は、今日の代表的な最先端技術である超ＬＳＩ技術を、化学技術者の目で見、理解してまとめられたものである。すなわち超ＬＳＩのしくみ、市場問題や今までの発展過程を述べたあと、超ＬＳＩ製造プロセスとそれを支える要素技術・パッケージング技術・評価技術を紹介し、解決が望まれている問題点を明らかにしている。

Table of Contents

  • １　超ＬＳＩの開く世界
  • ２　半導体マーケット
  • ３　半導体技術の歩みと展望
  • ４　超ＬＳＩのしくみ
  • ５　超ＬＳＩ製造プロセス
  • ６　周辺技術
  • ７　今後の技術的諸課題
  • ８　ケミカルエンジニアリングからのアプローチ

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Details

  • NCID
    BN03393696
  • ISBN
    • 4563045144
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    v, 199p
  • Size
    22cm
  • Classification
  • Subject Headings
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