化学技術者のための超LSI技術入門

著者

• 化学工学協会 カガク コウガク キョウカイ
• 化学工学会 カガク コウガッカイ

書誌事項

化学技術者のための超LSI技術入門

化学工学協会編

培風館, 1989.4

タイトル別名

超LSI技術入門 : 化学技術者のための

タイトル読み

カガク ギジュツシャ ノ タメノ チョウ LSI ギジュツ ニュウモン

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• 化学技術者のための超LSI技術入門

  1989

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

編者変更:化学工学協会→化学工学会

執筆者:仲勇治ほか

章末:引用文献

内容説明・目次

内容説明

本書は、今日の代表的な最先端技術である超ＬＳＩ技術を、化学技術者の目で見、理解してまとめられたものである。すなわち超ＬＳＩのしくみ、市場問題や今までの発展過程を述べたあと、超ＬＳＩ製造プロセスとそれを支える要素技術・パッケージング技術・評価技術を紹介し、解決が望まれている問題点を明らかにしている。

目次

• １　超ＬＳＩの開く世界
• ２　半導体マーケット
• ３　半導体技術の歩みと展望
• ４　超ＬＳＩのしくみ
• ５　超ＬＳＩ製造プロセス
• ６　周辺技術
• ７　今後の技術的諸課題
• ８　ケミカルエンジニアリングからのアプローチ

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN03393696
• ISBN:
  • 4563045144
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: v, 199p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC7 : 549.8
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • BSH : 集積回路
  • NDLSH : 集積回路